Sensori i presionit të motorit 2CP3-68 1946725 për ekskavator Carter

Një metodë për përgatitjen e një sensori presioni, e karakterizuar nga hapat e mëposhtëm:

S1, duke siguruar një meshë me një sipërfaqe të pasme dhe një sipërfaqe të përparme; Formimi i një shiriti piezorezistues dhe i një zone kontakti shumë të dopuar në sipërfaqen e përparme të vaferës; Formimi i një zgavër të thellë me presion duke gdhendur sipërfaqen e pasme të vaferës;

S2, duke lidhur një fletë mbështetëse në anën e pasme të vaferës;

S3, duke prodhuar vrima plumbi dhe tela metalikë në anën e përparme të vaferës, dhe lidh shirita piezorezistues për të formuar një urë Wheatstone;

S4, duke depozituar dhe formuar një shtresë pasivimi në sipërfaqen e përparme të vaferës dhe duke hapur një pjesë të shtresës së pasivimit për të formuar një zonë metalike. 2. Metoda e prodhimit të sensorit të presionit sipas pretendimit 1, ku S1 në mënyrë specifike përfshin hapat e mëposhtëm: S11: sigurimi i një vafere me një sipërfaqe të pasme dhe një sipërfaqe të përparme, dhe përcaktimi i trashësisë së një filmi të ndjeshëm ndaj presionit në vafer; S12: implantimi i joneve përdoret në sipërfaqen e përparme të vaferës, shiritat piezorezistues prodhohen nga një proces difuzioni me temperaturë të lartë dhe rajonet e kontaktit janë shumë të dopuara; S13: depozitimi dhe formimi i një shtrese mbrojtëse në sipërfaqen e përparme të vaferës; S14: gravurë dhe formimi i një zgavër të thellë presioni në pjesën e pasme të vaferit për të formuar një film të ndjeshëm ndaj presionit. 3. Metoda e prodhimit të sensorit të presionit sipas pretendimit 1, ku vaferi është SOI.

Në vitin 1962, Tufte etj. për herë të parë prodhoi një sensor presioni piezorezistues me shirita piezorerezistues të silikonit të shpërndarë dhe strukturë filmi silikoni dhe filloi kërkimin mbi sensorin e presionit piezorezistues. Në fund të viteve 1960 dhe në fillim të viteve 1970, shfaqja e tre teknologjive, përkatësisht, teknologjia e gravimit anizotropik të silikonit, teknologjia e implantimit të joneve dhe teknologjia e lidhjes anodike, sollën ndryshime të mëdha në sensorin e presionit, i cili luajti një rol të rëndësishëm në përmirësimin e performancës së sensorit të presionit. . Që nga vitet 1980, me zhvillimin e mëtejshëm të teknologjisë së mikropërpunimit, si gravimi anizotropik, litografia, dopingu me difuzion, implantimi i joneve, lidhja dhe veshja, madhësia e sensorit të presionit është zvogëluar vazhdimisht, ndjeshmëria është përmirësuar dhe prodhimi është i lartë dhe performanca është e shkëlqyer. Në të njëjtën kohë, zhvillimi dhe aplikimi i teknologjisë së re të mikropërpunimit bëjnë që trashësia e filmit të sensorit të presionit të kontrollohet me saktësi.