Zbatohet për sensorin e presionit të zakonshëm të hekurudhës së karburantit Passat 06E906051K

1. Një metodë për formimin e një sensori presioni, që përfshin:

Sigurimi i një nënshtrese gjysmëpërçuese, ku një shtresë e parë dielektrike ndërshtresore, një shtresë e parë dielektrike ndërshtresore dhe një shtresë e dytë dielektrike ndërshtresore janë formuar mbi nënshtresën gjysmëpërçuese.

Një pllakë e ulët e elektrodës në shtresën e parë dielektrike ndërshtresore, një elektrodë e parë e ndërsjellë e vendosur në të njëjtën shtresë si pllaka e poshtme e elektrodës dhe e ndarë nga njëra-tjetra.

Shtresat lidhëse;

Formimi i një shtrese sakrifikuese mbi pllakën e poshtme polare;

Formimi i një pllake të sipërme elektrodë në shtresën e parë dielektrike ndërshtresore, shtresën e parë të ndërlidhjes dhe shtresën sakrifikuese;

Pas formimit të shtresës sakrifikuese dhe para formimit të pllakës së sipërme, në shtresën e parë të ndërlidhjes

Formimi i një kanali lidhës dhe mbushja e brazdës së lidhjes me pllakën e sipërme për t'u lidhur elektrikisht me shtresën e parë të ndërlidhjes; Ose,

Pas formimit të pllakës së sipërme të elektrodës, në pllakën e sipërme të elektrodës dhe në shtresën e parë të ndërlidhjes formohen brazda lidhëse, e cila

Formimi i një shtrese përçuese që lidh pllakën e sipërme të elektrodës dhe shtresën e parë të ndërlidhjes në brazdë lidhëse;

Pas lidhjes elektrike të pllakës së sipërme dhe shtresës së parë të ndërlidhjes, duke hequr shtresën e flijimit për të formuar një zgavër.

2. Metoda për formimin e një sensori presioni sipas pretendimit 1, ku në shtresën e parë

Metoda për formimin e shtresës sakrifikuese në shtresën dielektrike ndërshtresore përfshin hapat e mëposhtëm:

Depozitimi i një shtrese materiali sakrifikues në shtresën e parë dielektrike ndërshtresore;

Modelimi i shtresës materiale të flijimit për të formuar një shtresë sakrifikuese.

3. Metoda për formimin e sensorit të presionit sipas pretendimit 2, ku përdoret fotolitografia dhe gdhendja.

Shtresa e materialit sakrifikues modelohet nga procesi i gravurës.

4. Metoda për formimin e një sensori presioni sipas pretendimit 3, ku shtresa sakrifikuese

Materiali është karboni amorf ose germanium.

5. Metoda për formimin e një sensori presioni sipas pretendimit 4, ku shtresa sakrifikuese

Materiali është karboni amorf;

Gazrat gravurë të përdorur në procesin e gravimit të shtresës së materialit sakrifikues përfshijnë O2, CO, N2 dhe Ar;

Parametrat në procesin e gdhendjes së shtresës së materialit sakrifikues janë: diapazoni i rrjedhjes së O2 është 18 SCCM ~ 22 SCCM, dhe shpejtësia e rrjedhjes së CO është 10%.

Shpejtësia e rrjedhës varion nga 90 SCCM në 110 SCCM, shpejtësia e rrjedhës së N2 varion nga 90 SCCM në 110 SCCM dhe shpejtësia e rrjedhës së Ar.

Gama është 90 SCCM ~ 110 SCCM, diapazoni i presionit është 90 mtor ~ 110 mtor, dhe fuqia e paragjykimit është

540w ~ 660w.