E zbatueshme për Karburantin Passat Sensori i Presionit të Hekurudhave të Karburantit të Karburantit 06E906051K

1. Një metodë për formimin e një sensori presioni, që përfshin:

Duke siguruar një substrat gjysmëpërçues, ku një shtresë e parë dielektrike ndërlayer, një shtresë e parë dielektrike interlayer dhe një shtresë e dytë dielektrike ndërlayer ndërlayer janë formuar në substratin gjysmëpërçues.

Një pllakë elektrodë e poshtme në shtresën e parë dielektrike interlayer, një elektrodë e parë e ndërsjellë e vendosur në të njëjtën shtresë si pllaka e elektrodës së poshtme dhe e ndarë larg.

Shtresa lidhëse;

Formimi i një shtrese sakrifikuese mbi pllakën polare të poshtme;

Duke formuar një pllakë elektrodë të sipërme në shtresën e parë dielektrike interlayer, shtresën e parë të ndërlidhjes dhe shtresën e sakrificës;

Pas formimit të shtresës sakrifikuese dhe para formimit të pllakës së sipërme, në shtresën e parë të ndërlidhjes

Duke formuar një zakon të lidhjes, dhe mbushjen e groove të lidhjes me pllakën e sipërme për t'u lidhur elektrikisht me shtresën e parë të ndërlidhjes; Ose,

Pas formimit të pllakës së sipërme të elektrodës, grooves lidhëse formohen në pllakën e sipërme të elektrodës dhe shtresën e parë të ndërlidhjes, e cila

Duke formuar një shtresë përçuese që lidh pllakën e sipërme të elektrodës dhe shtresën e parë të ndërlidhjes në brazdën e lidhjes;

Pas lidhjes elektrike në pllakën e sipërme dhe shtresën e parë të ndërlidhjes, duke hequr shtresën e sakrificës për të formuar një zgavër.

2. Metoda për formimin e një sensori presioni sipas pretendimit 1, ku në shtresën e parë

Metoda për formimin e shtresës sakrifikuese në shtresën dielektrike ndërlayer përfshin hapat e mëposhtëm:

Depozitimi i një shtrese materiale sakrifikuese në shtresën e parë dielektrike interlayer;

Modelimi i shtresës së materialit sakrifikues për të formuar një shtresë sakrifikuese.

3. Metoda për formimin e sensorit të presionit sipas pretendimit 2, ku përdoren fotolitografia dhe gdhendja.

Shtresa e materialit sakrifikues modelohet nga procesi i etching.

4. Metoda për formimin e një sensori presioni sipas pretendimit 3, ku shtresa e sakrificës

Materiali është karboni amorf ose germanium.

5. Metoda për formimin e një sensori presioni sipas pretendimit 4, ku shtresa e sakrificës

Materiali është karboni amorf;

Gazrat e hartuar të përdorura në procesin e hartimit të shtresës së materialeve sakrifikuese përfshijnë O2, CO, N2 dhe AR;

Parametrat në procesin e hartimit të shtresës së materialit sakrifikues janë: Gama e rrjedhës së O2 është 18 SCCM ~ 22 SCCM, dhe shkalla e rrjedhës së CO është 10%.

Shkalla e rrjedhës varion nga 90 SCCM në 110 SCCM, shkalla e rrjedhës së N2 varion nga 90 SCCM në 110 SCCM, dhe shkalla e rrjedhës së AR.

Gama është 90 SCCM ~ 110 SCCM, diapazoni i presionit është 90 mTOR ~ 110 mTOR, dhe fuqia e paragjykimit është

540W ～ 660W