Struktura e sensorit piezoresistiv

Në këtë sensor, shiriti i rezistencës është i integruar në diafragmën e silikonit monokristaline me anë të procesit të integrimit për të bërë një çip piezoresistues silikoni, dhe periferia e këtij çipi është paketuar në mënyrë të vendosur në guaskë, dhe drejtuesit e elektrodës drejtohen jashtë. Sensori i presionit piezoresistiv, i njohur gjithashtu si sensor i presionit të gjendjes së ngurtë, është i ndryshëm nga matësi i tendosjes ngjitëse, i cili duhet të ndiejë forcën e jashtme indirekt përmes elementeve elastikë të ndjeshëm, por ndjehet drejtpërdrejt presioni i matur përmes diafragmës së silikonit.

Njëra anë e diafragmës së silikonit është një zgavër me presion të lartë që komunikon me presionin e matur, dhe ana tjetër është një zgavër me presion të ulët që komunikon me atmosferën. Në përgjithësi, diafragma e silikonit është projektuar si një rreth me periferi fikse, dhe raporti i diametrit me trashësi është rreth 20 ~ 60. Katër shirita të rezistencës së papastërtisë P janë shpërndarë në vend në silikonin rrethor të silikonit, i cili është në një urë të plotë në zyrën e stresit kompresiv.

Përveç kësaj, ekzistojnë edhe diafragma silikoni katror dhe sensori i kolonës së silikonit. Sensori cilindrik i silikonit është bërë gjithashtu nga shirita rezistentë nga difuzioni në një drejtim të caktuar të një rrafshi kristal të cilindrit të silikonit, dhe dy shirita rezistentë ndaj stresit tërheqës dhe dy shirita kompresorë rezistentë ndaj stresit formojnë një urë të plotë.

Sensori piezoresistiv është një pajisje e bërë nga rezistenca e difuzionit në substratin e materialit gjysmëpërçues sipas efektit piezoresistiv të materialit gjysmëpërçues. Substrati i tij mund të përdoret drejtpërdrejt si një sensor matës, dhe rezistenca e difuzionit është e lidhur në substrat në formën e një ure.

Kur substrati deformohet nga forca e jashtme, vlerat e rezistencës do të ndryshojnë dhe ura do të prodhojë prodhim përkatës të pabalancuar. Substratet (ose diafragmat) të përdorura si sensorë piezoresistivë janë kryesisht meshë silikoni dhe wafers germanium. Sensorë piezoresistivë silikoni të bërë nga meshë silikoni pasi materiale të ndjeshme kanë tërhequr gjithnjë e më shumë vëmendje, veçanërisht sensorët piezoresistivë të gjendjes së ngurtë për matjen e presionit dhe shpejtësisë janë më të përdorura.