Struktura e sensorit piezoresistive

Në këtë sensor, shiriti i rezistencës është i integruar në diafragmën monokristaline të silikonit me anë të procesit të integrimit për të krijuar një çip piezorerezistent silikoni, dhe periferia e këtij çipi është paketuar në mënyrë fikse në guaskë, dhe telat e elektrodës nxirren jashtë. Sensori i presionit piezorezist, i njohur gjithashtu si sensor presioni në gjendje të ngurtë, është i ndryshëm nga matësi i tendosjes ngjitëse, i cili duhet të ndiejë forcën e jashtme në mënyrë indirekte përmes elementëve të ndjeshëm elastikë, por drejtpërdrejt ndjen presionin e matur përmes diafragmës së silikonit.

Njëra anë e diafragmës së silikonit është një zgavër me presion të lartë që komunikon me presionin e matur, dhe ana tjetër është një zgavër me presion të ulët që komunikon me atmosferën. Në përgjithësi, diafragma e silikonit është projektuar si një rreth me periferi fikse dhe raporti i diametrit me trashësinë është rreth 20 ~ 60. Katër shirita të rezistencës ndaj papastërtive P shpërndahen lokalisht në diafragmën rrethore të silikonit dhe lidhen në një urë të plotë, dy prej të cilave janë në zonën e sforcimit të shtypjes dhe dy të tjerat janë në zonën e tensionit në tërheqje, të cilat janë simetrike në lidhje me qendrën e diafragmës.

Përveç kësaj, ka edhe diafragmë katrore silikoni dhe sensor kolone silikoni. Sensori cilindrik i silikonit është gjithashtu i bërë nga shirita rezistues me anë të difuzionit në një drejtim të caktuar të një rrafshi kristal të cilindrit të silikonit, dhe dy shirita rezistent ndaj stresit në tërheqje dhe dy shirita rezistues ndaj stresit shtypës formojnë një urë të plotë.

Sensori piezorezistues është një pajisje e bërë nga rezistenca e difuzionit në nënshtresën e materialit gjysmëpërçues sipas efektit piezorezistues të materialit gjysmëpërçues. Nënshtresa e tij mund të përdoret drejtpërdrejt si sensor matës, dhe rezistenca e difuzionit lidhet në nënshtresë në formën e një ure.

Kur nënshtresa deformohet nga forca e jashtme, vlerat e rezistencës do të ndryshojnë dhe ura do të prodhojë dalje të pabalancuar përkatëse. Nënshtresat (ose diafragmat) të përdorura si sensorë piezorezistues janë kryesisht vaferë silikoni dhe vaferë germanium. Sensorët piezorezistues të silikonit të bërë nga vafera silikoni si materiale të ndjeshme kanë tërhequr gjithnjë e më shumë vëmendje, veçanërisht sensorët piezorezistues në gjendje të ngurtë për matjen e presionit dhe shpejtësisë janë më të përdorurit.