Sensorët e presionit gjysmëpërçues mund të ndahen në dy kategori, njëra bazohet në parimin që karakteristikat I-së të kryqëzimit PN gjysmëpërçues (ose kryqëzimi Schottky) ndryshojnë nën stres. Performanca e këtij elementi të ndjeshëm ndaj presionit është shumë e paqëndrueshme dhe nuk është zhvilluar shumë. Tjetri është sensori i bazuar në efektin piezoresistiv gjysmëpërçues, i cili është shumëllojshmëria kryesore e sensorit të presionit gjysmëpërçues. Në ditët e para, matësit e tendosjes gjysmëpërçuese ishin kryesisht të bashkangjitura në elementë elastikë për të bërë instrumente të ndryshme të stresit dhe tendosjes. Në vitet 1960, me zhvillimin e teknologjisë së qarkut të integruar gjysmëpërçues, u shfaq një sensor presioni gjysmëpërçues me rezistencë difuzioni si element piezoresistiv. Ky lloj sensori i presionit ka një strukturë të thjeshtë dhe të besueshme, nuk ka pjesë relative lëvizëse, dhe elementi i ndjeshëm ndaj presionit dhe elementi elastik i sensorit janë të integruar, i cili shmang vonesën dhe zvarritjen mekanike dhe përmirëson performancën e sensorit.

Efekti piezoresistiv i gjysmëpërçuesit gjysmëpërçues ka një karakteristikë që lidhet me forcën e jashtme, domethënë, rezistenca (e përfaqësuar nga simboli ρ) ndryshon me stresin që mban, i cili quhet efekt piezoresistiv. Ndryshimi relativ i rezistencës nën veprimin e stresit të njësisë quhet koeficient piezoresistiv, i cili shprehet nga simboli π. Shprehur matematikisht si ρ/ρ = π σ.

Ku σ përfaqëson stresin. Ndryshimi i vlerës së rezistencës (r/r) e shkaktuar nga rezistenca gjysmëpërçuese nën stres përcaktohet kryesisht nga ndryshimi i rezistencës, kështu që shprehja e efektit piezoresistiv mund të shkruhet gjithashtu si r/r = πσ.

Nën veprimin e forcës së jashtme, stresi i caktuar (σ) dhe tendosja (ε) gjenerohen në kristale gjysmëpërçuese, dhe marrëdhënia midis tyre përcaktohet nga moduli i ri (Y) i materialit, domethënë, y = σ/ε.

Nëse efekti piezoresistiv shprehet nga tendosja në gjysmëpërçuesin, është r/r = gε.

G quhet faktori i ndjeshmërisë së sensorit të presionit, i cili përfaqëson ndryshimin relativ të vlerës së rezistencës nën tendosjen e njësisë.

Koeficienti piezoresistiv ose faktori i ndjeshmërisë është parametri themelor fizik i efektit piezoresistiv gjysmëpërçues. Marrëdhënia midis tyre, ashtu si marrëdhënia midis stresit dhe tendosjes, përcaktohet nga moduli i të rinjve të materialit, domethënë g = π y.

Për shkak të anizotropisë së kristaleve gjysmëpërçuese në elasticitet, moduli i Young dhe koeficienti piezoresistiv ndryshon me orientimin kristal. Madhësia e efektit piezoresistiv të gjysmëpërçuesit është gjithashtu i lidhur ngushtë me rezistencën e gjysmëpërçuesit. Sa më i ulët të jetë rezistenca, aq më i vogël është faktori i ndjeshmërisë. Efekti piezoresistiv i rezistencës së difuzionit përcaktohet nga orientimi kristal dhe përqendrimi i papastërtisë së rezistencës së difuzionit. Përqendrimi i papastërtisë i referohet kryesisht përqendrimit të papastërtisë sipërfaqësore të shtresës së difuzionit.