Sensorët e presionit gjysmëpërçues mund të ndahen në dy kategori, njëra bazohet në parimin që karakteristikat I-υ të kryqëzimit PN të gjysmëpërçuesit (ose kryqëzimit skottky) ndryshojnë nën stres.Performanca e këtij elementi të ndjeshëm ndaj presionit është shumë e paqëndrueshme dhe nuk është zhvilluar shumë.Tjetri është sensori i bazuar në efektin piezorezistues gjysmëpërçues, i cili është varieteti kryesor i sensorit të presionit gjysmëpërçues.Në ditët e para, matësit e sforcimit gjysmëpërçues u lidhën kryesisht me elementë elastikë për të bërë instrumente të ndryshme matëse të stresit dhe sforcimit.Në vitet 1960, me zhvillimin e teknologjisë së qarkut të integruar gjysmëpërçues, u shfaq një sensor presioni gjysmëpërçues me rezistencë difuzioni si element piezorezistues.Ky lloj sensori i presionit ka strukturë të thjeshtë dhe të besueshme, nuk ka pjesë të lëvizshme relative, dhe elementi i ndjeshëm ndaj presionit dhe elementi elastik i sensorit janë të integruar, gjë që shmang vonesën mekanike dhe zvarritjen dhe përmirëson performancën e sensorit.

Efekti piezorezistent i gjysmëpërçuesit Gjysmëpërçuesi ka një karakteristikë që lidhet me forcën e jashtme, domethënë, rezistenca (e përfaqësuar me simbolin ρ) ndryshon me stresin që mban, që quhet efekt piezorezistues.Ndryshimi relativ i rezistencës nën veprimin e stresit të njësisë quhet koeficient piezorezistues, i cili shprehet me simbolin π.E shprehur matematikisht si ρ/ρ = π σ.

Ku σ përfaqëson stresin.Ndryshimi i vlerës së rezistencës (R/R) i shkaktuar nga rezistenca e gjysmëpërçuesit nën stres përcaktohet kryesisht nga ndryshimi i rezistencës, kështu që shprehja e efektit piezorezistues mund të shkruhet edhe si R/R=πσ.

Nën veprimin e forcës së jashtme, stresi i caktuar (σ) dhe sforcimi (ε) krijohen në kristalet gjysmëpërçuese, dhe marrëdhënia ndërmjet tyre përcaktohet nga moduli i Young (Y) i materialit, domethënë Y=σ/ε.

Nëse efekti piezorezistues shprehet me sforcimin në gjysmëpërçues, ai është R/R=Gε.

G quhet faktori i ndjeshmërisë së sensorit të presionit, i cili përfaqëson ndryshimin relativ të vlerës së rezistencës nën deformimin e njësisë.

Koeficienti piezorezistues ose faktori i ndjeshmërisë është parametri fizik bazë i efektit piezorezistent gjysmëpërçues.Marrëdhënia midis tyre, ashtu si marrëdhënia midis sforcimit dhe sforcimit, përcaktohet nga moduli i Young-it të materialit, domethënë g = π y.

Për shkak të anizotropisë së kristaleve gjysmëpërçuese në elasticitet, moduli i Young dhe koeficienti piezorezistues ndryshojnë me orientimin e kristalit.Madhësia e efektit piezorerezistent të gjysmëpërçuesit është gjithashtu e lidhur ngushtë me rezistencën e gjysmëpërçuesit.Sa më i ulët të jetë rezistenca, aq më i vogël është faktori i ndjeshmërisë.Efekti piezorezistues i rezistencës së difuzionit përcaktohet nga orientimi i kristalit dhe përqendrimi i papastërtisë së rezistencës së difuzionit.Përqendrimi i papastërtive kryesisht i referohet përqendrimit të papastërtisë sipërfaqësore të shtresës së difuzionit.