Sensori i presionit gjysmëpërçues i përdorur zakonisht përdor meshë silikoni të tipit N si nënshtresë. Së pari, vafera e silikonit është bërë një pjesë elastike me stres me një gjeometri të caktuar. Në pjesën mbartëse të stresit të vaferës së silikonit, bëhen katër rezistorë difuzioni të tipit P përgjatë drejtimeve të ndryshme kristalore, dhe më pas me këto katër rezistorë formohet një urë Wheatstone me katër krahë. Nën veprimin e forcës së jashtme, ndryshimet e vlerave të rezistencës bëhen sinjale elektrike. Kjo urë gruri me efekt presioni është zemra e sensorit të presionit, e cila zakonisht quhet urë piezorezitive (siç tregohet në figurën 1). Karakteristikat e urës piezorezistente janë si më poshtë: ① vlerat e rezistencës së katër krahëve të urës janë të barabarta (të gjitha r0); ② Efekti piezorezistues i krahëve ngjitur të urës është i barabartë në vlerë dhe i kundërt në shenjë; ③ Koeficienti i temperaturës së rezistencës së katër krahëve të urës është i njëjtë, dhe ata janë gjithmonë në të njëjtën temperaturë. Në fig. 1, R0 është vlera e rezistencës pa stres në temperaturën e dhomës; RT është ndryshimi i shkaktuar nga koeficienti i temperaturës së rezistencës (α) kur ndryshon temperatura; Υ Rδ është ndryshimi i rezistencës i shkaktuar nga sforcimi (ε); Tensioni i daljes së urës është u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (urë e burimit të rrymës konstante).

Ku I0 është rryma e burimit të rrymës konstante dhe e është tensioni i burimit të tensionit konstant. Tensioni i daljes së urës piezorezistuese është drejtpërdrejt proporcional me tendosjen (ε) dhe nuk ka të bëjë me RT-në e shkaktuar nga koeficienti i temperaturës së rezistencës, i cili redukton në masë të madhe zhvendosjen e temperaturës së sensorit. Sensori i presionit gjysmëpërçues më i përdorur është një sensor për zbulimin e presionit të lëngut. Struktura e saj kryesore është një kapsulë e bërë nga silikoni monokristalor (siç tregohet në figurën 2). Diafragma është bërë në një filxhan, dhe fundi i kupës është pjesa që mban forcën e jashtme dhe ura e presionit është bërë në fund të kupës. Piedestali i unazës është bërë nga i njëjti material silikoni me një kristal, dhe më pas diafragma lidhet me piedestalin. Ky lloj sensori i presionit ka avantazhet e ndjeshmërisë së lartë, vëllimit të vogël dhe soliditetit, dhe është përdorur gjerësisht në aviacion, navigacion hapësinor, instrumente automatizimi dhe instrumente mjekësore.